10:00 〜 10:15
[17a-F3-3] CF4-GCIB照射によるDLC保護膜の表面フッ化
キーワード：クラスター,DLC,フッ化
講演情報
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.5 ビーム・光励起表面反応
[17a-F3-1~6] 7.5 ビーム・光励起表面反応
2014年3月17日(月) 09:00 〜 11:00 F3 (F301)
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.5 ビーム・光励起表面反応
2014年3月17日(月) 09:00 〜 11:00 F3 (F301)
10:00 〜 10:15
キーワード：クラスター,DLC,フッ化