2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.5 ビーム・光励起表面反応

[17a-F3-1~6] 7.5 ビーム・光励起表面反応

2014年3月17日(月) 09:00 〜 11:00 F3 (F301)

10:30 〜 10:45

[17a-F3-5] 超熱原子状酸素照射によるSi-DLC酸化過程の衝突エネルギー依存

横田久美子1,田川雅人1,吉越章隆2,寺岡有殿2 (神戸大院1,原子力機構2)

キーワード:原子状酸素