[17a-F3-1~6] 7.5 ビーム・光励起表面反応

[17a-F3-5] 超熱原子状酸素照射によるSi-DLC酸化過程の衝突エネルギー依存

^○横田久美子¹，田川雅人¹，吉越章隆²，寺岡有殿² (神戸大院¹，原子力機構²)

キーワード：原子状酸素