[17a-F4-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[17a-F4-1] イオンビームスパッタ成膜とリフトオフプロセスによる10nm微細金属パターンの形成

^○三輪和弘，西村高志，土田智之，杉山嘉也，小島靖彦，伊藤高臣，永井佐利 (エリオニクス)

キーワード：lift-off,sputter,微細パターン