PDF ダウンロード スケジュール 2 いいね! 0 10:00 〜 10:15 [17a-F4-3] イオンビーム照射成膜によるc軸垂直配向希土類GaN薄膜の形成 ○鈴木雅視,柳谷隆彦 (名工大) キーワード:圧電,GaN薄膜,イオンビームアシスト成膜法