[17a-F4-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[17a-F4-7] 真空エレクトロスプレーを用いたSIMS用イオン液体ビーム源の開発

^○藤原幸雄，齋藤直昭 (産総研)

キーワード：イオン液体,エレクトロスプレー,二次イオン質量分析