[17a-PA4-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[17a-PA4-10] スパッタ法により成膜したAlO_x膜のパッシベーション特性

^○上田圭吾¹，吉田晴彦^1,3，新船幸二^1,3，小椋厚志^2,3，佐藤真一^1,3 (兵庫県立大¹，明治大²，JST-CREST³)

キーワード：太陽電池,スパッタ,パッシベーション