[17a-PA4-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[17a-PA4-15] Ion Beam Assist法を用いたa-Si:H膜への過剰水素添加に関する研究

^○美山和樹¹，ジャスティンンダギジマナ¹，松川誠也¹，久保田弘¹，吉岡昌雄²，横山聡² (熊大院自¹，熊大工²)

キーワード：シリコン系太陽電池,a-Si:H,Ion Beam