[17a-PG2-1~5] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[17a-PG2-3] 不純物イオン注入および熱処理がSi1-xCx層の結晶性に及ぼす影響

藤原幸亮¹，酒井翔一朗¹，古川洋志¹，井上樹範¹，^○有元圭介¹，山中淳二¹，中川清和¹，宇佐美徳隆²，星裕介²，澤野憲太郎³ (山梨大クリスタル研¹，名古屋大²，東京都市大総研³)

キーワード：Silicon Carbon