[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-1] Si(111)基板上に炭素との固相反応で生成したSiC薄膜の評価

^○細谷友崇¹，三本菅正太²，伊藤俊³，吹留博一²，長澤弘幸²，末光眞希^2,4 (東北大工¹，東北大通研²，東北大金研³，JST/CREST⁴)

キーワード：炭化ケイ素