[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-11] SiC-MOSキャパシタの電気特性のガンマ線照射線量依存性

^○田中量也¹，横関貴史¹，藤田奈津子²，牧野高紘²，小野田忍²，大島武²，田中雄季³，神取幹郎³，吉江徹³，土方泰斗¹ (埼玉大院理工研¹，原子力機構²，サンケン電気³)

キーワード：SiC,ガンマ線,MOS