09:30 〜 11:30
[17a-PG3-13] 両面研磨6H-SiC基板のSi面及びC面へのフェムト秒レーザー照射
キーワード：フェムト秒レーザー,SiC
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物
[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物
2014年3月17日(月) 09:30 〜 11:30 PG3 (G棟2階)
一般セッション(ポスター講演)
15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物
2014年3月17日(月) 09:30 〜 11:30 PG3 (G棟2階)
09:30 〜 11:30
キーワード：フェムト秒レーザー,SiC