[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-4] 犠牲酸化処理がステップバンチング上ゲート絶縁膜信頼性に及ぼす影響

^○山田敬一¹，石山修¹，迫秀樹¹，先崎純寿^1,2，北畠真¹ (FUPET¹，産総研²)

キーワード：ゲート酸化膜,信頼性,犠牲酸化