[17a-PG3-1~15] 15.6 IV族系化合物

[17a-PG3-7] 4H-SiC(0001)Si面及び(000-1)C面、それぞれの酸化反応の動的シミュレーション

^○（PC）小山洋^1,2，山崎隆浩^1,2，奈良純^1,2，清水達雄³，大野隆央^1,2,4 (物材機構¹，MARCEED²，東芝研究開発センター³，東大生研⁴)

キーワード：SiC,理論計算,酸化過程