[17p-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D6-2] ヨウ素添加非晶質カーボン膜の熱処理の影響

^○中尾節男¹，枩藤崇²，岸直希²，曽我哲夫²，松本章宏¹ (産総研¹，名工大²)

キーワード：カーボン膜,非晶質,熱処理