[17p-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-D6-3] テトラメチルシラン添加炭化水素混合凝縮層ヘの低速電子線照射により極低温合成したa-C:Si:Hの物性評価

^○山田竜太郎，関渓太，坂巻直，小林直樹，佐藤哲也，中川清和 (山梨大院医工総研)

キーワード：a-C,Si(CH3)4,極低温