[17p-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17p-D6-4] アモルファス窒化炭素薄膜の電気伝導度に及ぼす熱履歴の影響

^○田村尚之，青野祐美，原田人萌，北沢信章，渡邉芳久 (防大材料)

キーワード：アモルファス,窒化炭素,電気特性