15:15 〜 15:30
[17p-D6-6] スーパーマグネトロンプラズマによる電界放出用2層a-CNx:H膜の作製
キーワード：スーパーマグネトロンプラズマ
講演情報
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[17p-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜
2014年3月17日(月) 14:00 〜 17:15 D6 (D209)
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2014年3月17日(月) 14:00 〜 17:15 D6 (D209)
15:15 〜 15:30
キーワード：スーパーマグネトロンプラズマ