15:45 〜 16:15
[17p-D6-7] 「薄膜・表面分科内招待講演」（30分）「光と薄膜」―プラズマの分光計測にもとづく炭素系薄膜の材料設計
キーワード：アモルファス炭素啓薄膜,プラズマ分光
講演情報
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[17p-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜
2014年3月17日(月) 14:00 〜 17:15 D6 (D209)
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2014年3月17日(月) 14:00 〜 17:15 D6 (D209)
15:45 〜 16:15
キーワード：アモルファス炭素啓薄膜,プラズマ分光