[17p-D6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17p-D6-9] アモルファスカーボンの触媒金属支援熱処理によるSi₂上へのグラフェンの成長

^○長谷部洋平，中原仁，安坂幸師，齋藤弥八 (名大院工)

キーワード：グラフェン,断面透過電子顕微鏡法,固相成長