[17p-D9-1~13] 結晶シリコン太陽電池の最前線

[17p-D9-5] Cat-CVD法による最大表面再結合速度 2 cm/s 以下の透明パシベーション膜低温形成（30分）

^○松村英樹，小山晃一，東嶺孝一，ＴｈｉＴ．ｃｈａｍ，大平圭介 (北陸先端大学院大学)

キーワード：Cat-CVD,太陽電池,表面再結合速度