2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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分科企画シンポジウム

分科企画シンポジウム » ナノエレクトロニクスの新展開と国際連携

[17p-E1-1~7] ナノエレクトロニクスの新展開と国際連携

2014年3月17日(月) 14:45 〜 18:00 E1 (E101)

17:00 〜 17:45

[17p-E1-6] ナノエレクトロニクス:国力増強への戦略(45分)

渡辺久恒 (EUVL基盤開発センター)

キーワード:ナノエレクトロニクス,半導体,開発戦略