[17p-E10-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-E10-2] m面サファイア基板上に形成したβ-Ga₂O₃薄膜の結晶配向性

^○中込真二¹，金子智²，國分義弘¹ (石巻専修大理工¹，神奈川県産業技術センター²)

キーワード：酸化ガリウム,結晶配向