[17p-E10-1~10] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [17p-E10-3] サファイア基板上にMBE成長したMoO3薄膜の結晶構造評価

^○（M1）八木信治¹，松尾昌幸¹，小池一歩¹，原田義之¹，佐々誠彦¹，矢野満明¹，稲葉克彦² (阪工大ナノ材研センタ¹，リガク X線研究所²)

キーワード：MoO3,MBE