[17p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-E13-12] ナノテンプレートによる規則配列AlGaNナノコラムの選択成長

^○山野晃司¹，岸野克巳^1,2，関口寛人³，若原昭浩³ (上智大理工¹，上智大ナノテク研究センター²，豊橋技大工³)

キーワード：ナノコラム,AlGaN,窒化物