[17p-E13-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-E13-13] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるGaNナノ構造の作製

^○（B）蜂屋諒，菊池昭彦，蜂屋太樹，喜多諒 (上智大)

キーワード：GaN,etching