[17p-E15-1~15] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

△ [17p-E15-7] バイオテンプレート極限加工による高密度10 nm Geナノディスクの作製と光学特性

^○エルマンモハマド^1,5，岡田健¹，藤井拓也^1,6，遠藤広孝⁶，伊藤公平^3,5，山下一郎^4,5，寒川誠二^1,2,5 (東北大流体研¹，東北大WPI²，慶大³，奈良先端大⁴，JST-CREST⁵，本田技術研究所⁶)

キーワード：neutral beam,quantum dot