PDF ダウンロード スケジュール 4 いいね! 1 13:30 〜 13:45 [17p-E16-2] 高機械Q値のための音叉型ナノビーム振動子の提案 ○北翔太1,2,MarkoLoncar2 (横国大院工1,ハーバード大SEAS2) キーワード:MEMS/NEMS,Optomechanics,Tuning fork