2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

03.光 » 3.4 計測光学

[17p-E4-1~17] 3.4 計測光学

2014年3月17日(月) 13:15 〜 17:45 E4 (E104)

17:30 〜 17:45

[17p-E4-17] 赤外レーザによるSiC抵抗率の非接触測定

前川陽,高木茂行,塩見康友,角野努,秋山靖裕 (東芝)

キーワード:SiC,赤外レーザ