[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17p-E5-1] 150mm径SiCウエハのSORIに対するエピ成長の影響

^○工藤千秋^1,2，伊藤佐千子⁵，升本恵子^1,5，浅水啓州^1,3，田村謙太郎^1,3，西尾譲司^1,4，児島一聡^1,5，大野俊之^1,6 (FUPET¹，パナソニック²，ローム³，東芝⁴，産総研⁵，日立製作所⁶)

キーワード：SiC,反り,基板