[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17p-E5-2] 150mmφウエハを用いた4H-SiCのC面みなしエピ成長実験の妥当性評価

^○西尾譲司^1,2，工藤千秋^1,3，伊藤佐千子⁴，升本恵子^1,4，浅水啓州^1,5，田村謙太郎^1,5，児島一聡^1,4，大野俊之^1,6 (FUPET¹，東芝²，パナソニック³，産総研⁴，ローム⁵，日立製作所⁶)

キーワード：SiC,C面,大口径