2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

2014年3月17日(月) 13:15 〜 16:45 E5 (E105)

14:00 〜 14:15

[17p-E5-4] THzエリプソメトリーによるSiCエピタキシャル膜の電気特性測定

藤井高志1,岩本敏志1,佐藤幸徳1,長島健2 (日邦プレシジョン1,阪大レーザー研2)

キーワード:SiC,テラヘルツエリプソメトリー,電気特性