[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17p-E5-4] THzエリプソメトリーによるSiCエピタキシャル膜の電気特性測定

^○藤井高志¹，岩本敏志¹，佐藤幸徳¹，長島健² (日邦プレシジョン¹，阪大レーザー研²)

キーワード：SiC,テラヘルツエリプソメトリー,電気特性