[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

▲ [17p-E5-6] 物理的気相輸送法を用いた4H-SiC単結晶成長における基底面転位の3次元解析

^○高冰，中野智，柿本浩一 (九大応力研)

キーワード：SiC