[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

▲ [17p-E5-7] PVT成長法を用いた4H-SiC単結晶における基底面転位の低減に対するヒーター電力制御の最適化

^○高冰，中野智，柿本浩一 (九大応力研)

キーワード：SiC