[17p-E5-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17p-E5-8] 2ゾーン加熱型昇華炉を用いた昇華法によるp型SiC成長

^○江藤数馬^1,2，髙木覚¹，三浦知則^1,2，加藤智久^1,2，奥村元^1,2 (ＦＵＰＥＴ¹，産総研²)

キーワード：SiC,結晶成長