[17p-F2-1~17] 8.2 プラズマ診断・計測

[17p-F2-13] 非接触基板温度計測システムを用いたプラズマプロセス中の基板温度および熱流速計測

^○堤隆嘉¹，竹田圭吾¹，石川健治¹，近藤博基¹，太田貴之²，伊藤昌文²，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，名城大理工²)

キーワード：温度,熱,基板