[17p-F2-1~17] 8.2 プラズマ診断・計測

[17p-F2-17] 反応性プラズマにおけるナノ粒子成長のバイスペクトル解析

森田康彦¹，^○伊東鉄平¹，山下大輔¹，内田儀一郎²，鎌滝晋礼¹，徐鉉雄¹，板垣奈穂¹，古閑一憲¹，白谷正治¹ (九大¹，大阪大²)

キーワード：バイスペクトル,ナノ粒子