[17p-F2-1~17] 8.2 プラズマ診断・計測

[17p-F2-7] 誘導結合型HBrプラズマにおけるBrラジカル表面損失確率の評価

^○藤井良隆¹，飯野大輝¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ²)

キーワード：誘導結合型HBrプラズマ