[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [17p-F3-1] パルスマイクロ波励起大気圧ラインプラズマの空間分解計測

^○鈴木陽香¹，中野優¹，伊藤仁^2,3，関根誠^1,2，堀勝^1,2，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ²，東京エレクトロン³)

キーワード：大気圧プラズマ