[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-F3-11] 電子流体モデルを用いたイオン源内電位分布計算方法の調査

^○宮下大，衞藤晴彦，青木康，加藤隆典 (住友重機)

キーワード：プラズマモデリング,イオン源