[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [17p-F3-16] 反応性プラズマ蒸着装置における蒸着粒子のイオン化率とエネルギー分布の制御

^○北見尚久，宮下大，酒見俊之，青木康，加藤隆典 (住友重機械工業)

キーワード：イオン化率定量分析,反応性プラズマ蒸着装置,透明導電膜