[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-F3-2] メートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの均一性評価

^○中野優¹，鈴木陽香¹，伊藤仁^2,3，関根誠^1,2，堀勝^1,2，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ²，東京エレクトロン³)

キーワード：大気圧プラズマ,マイクロ波プラズマ