[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-F3-3] 高周波化バリア放電による高密度小径オゾナイザの開発

辻野純司，^○北嶋武，中野俊樹 (防大電気)

キーワード：オゾナイザ,バリア放電