[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-F3-8] 電子サイクロトロン共鳴イオン源プラズマからの多価イオンビーム引き出しに対する中間電極電位の効果

^○今井洋太¹，木村大樹¹，矢野慧介¹，熊倉翔¹，西岡田卓也²，佐藤文信¹，加藤裕史¹，北川敦志³，飯田敏行¹ (阪大院工¹，阪大工²，放医研³)

キーワード：多価イオンビーム,電子サイクロトロン共鳴イオン源