[17p-F3-1~16] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [17p-F3-9] PIC-MCC法によるArおよびHe直流放電生成用陰極への照射粒子エネルギー分布計算

^○近藤崇博，伊藤剛仁 (阪大工)

キーワード：PIC-MCC,エネルギー分布,中性粒子