[17p-F4-1~13] 7.6 イオンビーム一般

[17p-F4-10] 水クラスターイオンビーム照射によるSIMS分析

^○中川駿一郎¹，瀬木利夫^1,2，青木学聡^1,2，松尾二郎^1,2 (京大院工¹，JST-CREST²)

キーワード：クラスターイオン