2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.7 微小電子源

[17p-F5-1~15] 7.7 微小電子源

2014年3月17日(月) 13:30 〜 17:45 F5 (F305)

13:30 〜 13:45

[17p-F5-1] 走査プローブ顕微鏡を用いた電子源先端構造評価

渡邉騎通,田中深幸,清水哲夫 (産総研ナノシステム)

キーワード:電子源,走査プローブ顕微鏡