2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.7 微小電子源

[17p-F5-1~15] 7.7 微小電子源

2014年3月17日(月) 13:30 〜 17:45 F5 (F305)

13:45 〜 14:00

[17p-F5-2] 電界誘起ガスエッチング法で先鋭化した電子源を用いた低速電子回折装置の開発

公文恵,千原佑太,中川剛志,水野清義 (九大)

キーワード:電界誘起ガスエッチング