[17p-F5-1~15] 7.7 微小電子源

[17p-F5-6] 化学気相堆積法により成膜した立方晶BNからの電界放出特性

^○小林正典¹，宮下英俊²，猪股直生¹，小野崇人¹ (東北大院工¹，鳥取大院工²)

キーワード：立方晶窒化ホウ素,化学気相堆積法,電界放出